Разработка методики расчета и конструкции реакторов электропечей для наращивания полупроводниковых структур из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.09.10 ; 05.27.06) / ВНИИ проект.-конструкт. и технол. ин-т электротерм. оборуд.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Айдаров, А. И. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||