Исследование неконтролируемых примесей в кристаллах и эпитаксиальных пленках кремния современными методами спектроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / Ташк. гос. техн. ун-т им. Абу Райхана Беруни
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Адилов, М. Ю. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1992 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35700450000 | ||
| 005 | 20070808131212.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070808d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Исследование неконтролируемых примесей в кристаллах и эпитаксиальных пленках кремния современными методами спектроскопии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.04) $f Ташк. гос. техн. ун-т им. Абу Райхана Беруни |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 14 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 13-14 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Адилов $b М. Ю. $g Махмуд Юнусович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |