Исследование неконтролируемых примесей в кристаллах и эпитаксиальных пленках кремния современными методами спектроскопии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / Ташк. гос. техн. ун-т им. Абу Райхана Беруни
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Адилов, М. Ю. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1992 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||