Исследование влияния условий роста на процесс кристаллизации кремниевых профилей и их физические характеристики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Абросимов, Н. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1984 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||