Энергетический спектр и температурная стабильность радиационных дефектов в кремнии, образующихся вблизи границы Si-SiO₂ при ионной имплантации: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Аббасова, Р. У. |
| Опубликовано: | М. , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||