Интерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига / В. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной

Сохранено в:
Шифр документа: 65002,
Вид документа: Книги
Автор: Абакумов, В. Н.
Опубликовано: Л. , 1985
Физические характеристики: 32 с. : черт.
Язык: Русский
Серия: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе 925
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr35473400000
005 20150514144345.0
010 # # $d Беспл. 
021 # # $a RU  $b [85-27056] 
100 # # $a 20070807d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Интерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига  $f В. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной 
210 # # $a Л.  $d 1985 
215 # # $a 32 с.  $c черт. 
225 2 # $a АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе  $v 925 
300 # # $a Библиогр.: с. 30-32 (57 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Отжиг 
610 0 # $a Лазерное излучение 
675 # # $a 621.315.592:621.373.826 
700 # 1 $a Абакумов  $b В. Н. 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070807  $g psbo