
Интерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига / В. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Абакумов, В. Н. |
Опубликовано: | Л. , 1985 |
Физические характеристики: |
32 с. : черт.
|
Язык: | Русский |
Серия: |
АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
925 |
Предмет: |
00000cam0a22000001ib4500 | |||
001 | BY-NLB-rr35473400000 | ||
005 | 20150514144345.0 | ||
010 | # | # | $d Беспл. |
021 | # | # | $a RU $b [85-27056] |
100 | # | # | $a 20070807d1985 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Интерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига $f В. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной |
210 | # | # | $a Л. $d 1985 |
215 | # | # | $a 32 с. $c черт. |
225 | 2 | # | $a АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе $v 925 |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 30-32 (57 назв.) |
345 | # | # | $9 200 экз. |
610 | 0 | # | $a Полупроводники - Отжиг |
610 | 0 | # | $a Лазерное излучение |
675 | # | # | $a 621.315.592:621.373.826 |
700 | # | 1 | $a Абакумов $b В. Н. |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070807 $g psbo |