Интерференционный лазерный отжиг полупроводников и механизм лазерного отжига / В. Н. Абакумов, Ю. В. Ковальчук, Е. Л. Портной
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Абакумов, В. Н. |
| Опубликовано: | Л. , 1985 |
| Физические характеристики: |
32 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
925 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||