Исследование кинетики электронов в плазме ВЧ разряда низкого давления в инертных газах: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.08)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ершов, А. П. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||