Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ425699,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дьяконова, В. И.
Опубликовано: Саранск , 1982
Физические характеристики: 20 с. : граф.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35101390000
005 20070802191907.0
021 # # $a RU  $b [82-7699а] 
100 # # $a 20070802d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ  $e (01.04.07)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a Саранск  $d 1982 
215 # # $a 20 с.  $c граф. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР, СО, Ин-т физики полупроводников, Специализир. совет К.003.05.01 по защите дис. на соиск. учен. степ. канд. наук. Библиогр.: с. 17-20 (13 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Дьяконова  $b В. И.  $g Валентина Ивановна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070802  $g psbo