Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дьяконова, В. И. |
| Опубликовано: | Саранск , 1982 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||