Оборудование для ионной имплантации: (Учеб. пособие по курсу "Проектирование элион. оборудования")
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дымович, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
63 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||