Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: (05.298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дудкин, В. И. |
| Опубликовано: | Киев , 1970 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35035830000 | ||
| 005 | 20070802190333.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [70-9181а] |
| 100 | # | # | $a 20070802d1970 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем $e (05.298) $e Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1970 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 686 | # | # | $a 05.298 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дудкин $b В. И. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |