Исследование влияния пленок двуокиси кремния, получаемых при низких температурах, на состояние поверхности кремния, кремниевых полупроводниковых приборов и интегральных схем: (05.298): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Киевский политехн. ин-т им. 50-летия великой Октябрьской соц. революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дудкин, В. И. |
| Опубликовано: | Киев , 1970 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||