Исследование влияния бомбардировки ионами низких и средних энергий на электрофизические свойства реальной и окисленной поверхности кремния: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дубчак, А. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1978 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35023050000 | ||
| 005 | 20070802190208.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [78-5457а] |
| 100 | # | # | $a 20070802d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование влияния бомбардировки ионами низких и средних энергий на электрофизические свойства реальной и окисленной поверхности кремния $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АН УССР. Ин-т полупроводников |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 14-15 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дубчак $b А. П. $g Александр Прохорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |