Исследование влияния бомбардировки ионами низких и средних энергий на электрофизические свойства реальной и окисленной поверхности кремния: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН УССР. Ин-т полупроводников
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Дубчак, А. П. |
| Published: | Киев , 1978 |
| Physical Description: |
15 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||