Основы технологии кремниевых интегральных схем: Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера и Р. Донована. Пер. с англ. Под ред. [и с предисл.] канд. физ.-мат. наук В. Н. Мордковича и канд. техн. наук Ф. П. Пресса
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Донован, Р. П. |
| Published: | М. : Мир , 1969 |
| Physical Description: |
451 с. : илл. ; 22 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 2 , available: 1 | Available Place a Hold | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||