
Основы технологии кремниевых интегральных схем: Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера и Р. Донована. Пер. с англ. Под ред. [и с предисл.] канд. физ.-мат. наук В. Н. Мордковича и канд. техн. наук Ф. П. Пресса
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Донован, Р. П. |
Опубликовано: | М. : Мир , 1969 |
Физические характеристики: |
451 с. : илл. ; 22 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 1 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|