Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Дзян, А. С. |
| Publié: | Киев , 1990 |
| Description matérielle: |
16 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||