Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Дзян, А. С. |
| Апублікавана: | Киев , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||