Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дзян, А. С. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34693100000 | ||
| 005 | 20070801172709.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070801d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование закономерностей и разработка процессов плазмохимического травления кремнийсодержащих функциональных слоев МДП СБИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f АН УССР, Ин-т кибернетики им. В. М. Глушкова |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (21 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дзян $b А. С. $g Александр Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070801 $g psbo |