|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34596000000 |
| 005 |
20070801164143.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 11 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [73-58837]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070801d1973 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$c [Ин-т кибернетики]
$d 1973
|
| 215 |
# |
# |
$a 34 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f Секция физ.-технол. вопросы кибернетики»
$f АН УССР. Ин-т кибернетики
$v 73-41
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 33-34 (11 назв.). Перед загл. авт.: В. П. Деркач, Г. Ф. Кияшко, М. С. Кухарчук
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микросхемы - Производство - Технический контроль
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки топкие - Толщина - Измерение
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48.002:658.562.012.7
|
| 700 |
# |
1 |
$a Деркач
$b В. П.
$g Виталий Павлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кияшко
$b Г. Ф.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кухарчук
$b М. С.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070801
$g psbo
|
