Электроннозомдовые методы контроля технологических процессов в микроэлектронике
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Деркач, В. П. |
| Опубликовано: | Киев : [Ин-т кибернетики] , 1973 |
| Физические характеристики: |
34 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
73-41 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||