Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07 ; 05.16.06) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Дворина, Л. А. |
| Publicado: | Киев , 1990 |
| Descripción Física: |
48 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34461760000 | ||
| 005 | 20070727180257.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070727d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка научных принципов и создание материалов на основе силицидов переходных металлов для тонкопленочных элементов микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (01.04.07 ; 05.16.06) $f АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 48 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 44-48 (35 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.16.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дворина $b Л. А. $g Людмила Андреевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |