Исследование и разработка измерительных средств для контроля геометрических параметров изделий микроэлектроники: (05.11.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Сев.-Зап. заоч. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилов, А. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1973 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||