Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато-и приборостроению (II концентр.)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, Б. С. |
| Опубликовано: | М. : Машиностроение , 1987 |
| Физические характеристики: |
71 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||