Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники / Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато-и приборостроению (II концентр.)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Данилин, Б. С. |
Опубликовано: | М. : Машиностроение , 1987 |
Физические характеристики: |
71 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|