|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393850000 |
| 005 |
20180226131910.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-51988]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумные технологические процессы и оборудование микроэлектроники
$f Центр. правл. НТО приборостроит. пром-сти им. С. И. Вавилова, Заоч. ин-т, Курсы повышения квалификации ИТР по вакуум. аппарато-и приборостроению (II концентр.)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Машиностроение
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 71 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 70 (8 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Вакуум-насосы
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
