|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393820000 |
| 005 |
20240209091917.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 89 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [72-33653]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1972 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумная техника в производстве интегральных схем
$f Под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1972
|
| 215 |
# |
# |
$a 256 с.
$c черт.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 246-254
|
| 345 |
# |
# |
$9 9000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение - Применение вакуума
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382-181.48-416.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
