Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Данилин, Б. С. |
| Опубликовано: | М. : Энергия , 1972 |
| Физические характеристики: |
256 с. : черт. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Доступно Заказать | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||