Электронно-лучевая литография структур специальной геометрии: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Давыдов, А. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
14, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34337670000 | ||
| 005 | 20070727185224.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-4280а] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Электронно-лучевая литография структур специальной геометрии $e (05.27.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Физ.-технол. ин-т |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 14, [1] с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-15 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Давыдов $b А. В. $g Алексей Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |