Электронно-лучевая литография структур специальной геометрии: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Давыдов, А. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
14, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||