Разработка системы сомещения установок и гибких производственных модулей электронной проекционной литографии для производства СБИС с субмикронными размерами элементов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Громов, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34065950000 | ||
| 005 | 20070727152216.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070727d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка системы сомещения установок и гибких производственных модулей электронной проекционной литографии для производства СБИС с субмикронными размерами элементов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.07) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 26-27 (10 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Громов $b В. И. $g Василий Игоревич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |