Методы и средства радиоволнового-импеданского технологического контроля качества полупроводниковых-тонкопленочных структур устройств радиотехники и средств связи: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григулис, Ю. К. |
| Опубликовано: | Л. , 1990 |
| Физические характеристики: |
52 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||