Исследование метода сканирующего светового зонда для выявления дефектов и анализа отказов полупроводниковых приборов: (05.296): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. энерг. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григорьян, В. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1973 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33987860000 | ||
| 005 | 20070727151130.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-332а] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование метода сканирующего светового зонда для выявления дефектов и анализа отказов полупроводниковых приборов $e (05.296) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Моск. энерг. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 17-19 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.296 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Григорьян $b В. Г. $g Валерий Григорьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |