Исследование метода сканирующего светового зонда для выявления дефектов и анализа отказов полупроводниковых приборов: (05.296): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. энерг. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григорьян, В. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1973 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||