Синтез, физико-химические свойства фторгидридных и оксидных пленок на кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григале, Д. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33949770000 | ||
| 005 | 20070727150621.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070727d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Синтез, физико-химические свойства фторгидридных и оксидных пленок на кремнии $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.04) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 19 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета. Библиогр.: с. 17-19 (26 назв.). Для служ. пользования |
| 675 | # | # | $a 541.12.012.3 |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Григале $b Д. А. $g Дайна Артуровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |