Синтез, физико-химические свойства фторгидридных и оксидных пленок на кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Григале, Д. А. |
| Опубликовано: | Л. , 1983 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||