Разработка метода плазменного анодирования для изготовления тонких окисных пленок с целью их использования в компонентах микроэлектронных схем: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. инж.-физ. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Горохов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1975 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33799680000 | ||
| 005 | 20070720183823.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [75-21354а] |
| 100 | # | # | $a 20070720d1975 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка метода плазменного анодирования для изготовления тонких окисных пленок с целью их использования в компонентах микроэлектронных схем $e (05.12.11) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Моск. инж.-физ. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1975 |
| 215 | # | # | $a 25 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 24-25 (8 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.12.11 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Горохов $b В. Н. $g Валерий Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |