Разработка метода плазменного анодирования для изготовления тонких окисных пленок с целью их использования в компонентах микроэлектронных схем: (05.12.11): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. инж.-физ. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Горохов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1975 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||