Процессы атомной миграции и напряженно-деформированное состояние кристалла при локальном диффузионном легировании кремния (Численное исследование): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10 ; 01.02.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Големшток, Г. М. |
| Опубликовано: | Горький , 1984 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33541550000 | ||
| 005 | 20070720135005.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070720d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Процессы атомной миграции и напряженно-деформированное состояние кристалла при локальном диффузионном легировании кремния (Численное исследование) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10 ; 01.02.04) |
| 210 | # | # | $a Горький $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 26 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Горьк. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского. Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 01.02.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Големшток $b Г. М. $g Григорий Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |