Процессы атомной миграции и напряженно-деформированное состояние кристалла при локальном диффузионном легировании кремния (Численное исследование): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10 ; 01.02.04)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Големшток, Г. М. |
| Опубликовано: | Горький , 1984 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||