Искусственная эпитаксия - новое направление в кристаллизации пленок и в технологии микроэлектроники и вычислительной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гиваргизов, Е. И. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
40 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 3 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||