Оптимальное управление распределенными технологическими процессами микроэлектронного производства: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.05 ; 05.13.07) / Моск. авиац. ин-т им. С. Орджоникидзе
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Герасимова, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33303870000 | ||
| 005 | 20070719202256.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070719d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оптимальное управление распределенными технологическими процессами микроэлектронного производства $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.05 ; 05.13.07) $f Моск. авиац. ин-т им. С. Орджоникидзе |
| 210 | # | # | $a М. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.05 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Герасимова $b А. С. $g Алла Станисловна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070719 $g psbo |