Оптимальное управление распределенными технологическими процессами микроэлектронного производства: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.05 ; 05.13.07) / Моск. авиац. ин-т им. С. Орджоникидзе
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Герасимова, А. С. |
Опубликовано: | М. , 1989 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|