Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Калинин. политехн. ин-т
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Филинов, В. А. |
| Апублікавана: | Калинин , 1976 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
25 с. : черт.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||