Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Калинин. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Филинов, В. А. |
| Опубликовано: | Калинин , 1976 |
| Физические характеристики: |
25 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||