Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Калинин. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Филинов, В. А. |
| Опубликовано: | Калинин , 1976 |
| Физические характеристики: |
25 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32946530000 | ||
| 005 | 20070717191038.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [76-13691а] |
| 100 | # | # | $a 20070717d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка метода и комплекса технических средств для автоматического контроля и управления процессом производства полупроводниковых структур $e (05.13.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Калинин. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Калинин $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 25 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 24-25 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Филинов $b В. А. $g Владимир Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |