Разработка и исследование методов и аппаратуры для автоматизированного измерения параметров МДП-структур: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Калинин. политехн. ин-т
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Филинов, В. А. |
Опубликовано: | Калинин , 1975 |
Физические характеристики: |
22 с. : схем.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|