Ионная имплантация Zn в твердых растворах GaAs{н.инд.}(1-х)Р{н.инд.}(x) и Al{н.инд.}(x)Ga{н.инд.}(1-x)As и ее использование в производстве полупроводниковых индикаторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Моск. ин-т электрон. машиностроения

Сохранено в:
Шифр документа: 904/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Филимошин, Н. С.
Опубликовано: М. , 1984
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr32943300000
005 20070717191038.0
100 # # $a 20070717d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Ионная имплантация Zn в твердых растворах GaAs{н.инд.}(1-х)Р{н.инд.}(x) и Al{н.инд.}(x)Ga{н.инд.}(1-x)As и ее использование в производстве полупроводниковых индикаторов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.18)  $f Моск. ин-т электрон. машиностроения 
210 # # $a М.  $d 1984 
215 # # $a 25 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 24-25 (10 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.12.18  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Филимошин  $b Н. С.  $g Николай Спиридонович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070717  $g psbo