Термодинамический анализ процессов осаждения полупроводниковых веществ из газовой фазы: (02.00.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук / АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Федорова, Т. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1973 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32830170000 | ||
| 005 | 20070717183923.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-15637а] |
| 100 | # | # | $a 20070717d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Термодинамический анализ процессов осаждения полупроводниковых веществ из газовой фазы $e (02.00.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук $f АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 |
| 686 | # | # | $a 02.00.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Федорова $b Т. В. $g Тамара Владимировна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |