Термодинамический анализ процессов осаждения полупроводниковых веществ из газовой фазы: (02.00.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. хим. наук / АН СССР. Сиб. отд-ние. Объедин. учен. совет по хим. наукам
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Федорова, Т. В. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1973 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||